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发明名称
于沉积制程中维持副产物挥发性之方法及装置
摘要
本发明系关于一种用于将一含氟流体流引入一沈积制程,以维持制程副産物挥发性并减少或消除副産物之形成及/或干扰之方法及装置。
申请公布号
TWI386513
申请公布日期
2013.02.21
申请号
TW093141584
申请日期
2004.12.31
申请人
艾德华真空公司 美国
发明人
克里斯多夫M 拜利;理察A 侯枸;西门 普敦;雷瓦蒂 普拉德翰 凯斯茂卡;亚隆 苏利文;榭 马;王清民
分类号
C23C16/44;H01L21/3065
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
美国
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