在腔室中处理基片的方法及系统

摘要

本发明公开了一种处理基片(例如太阳能电池板)的装置。根据实施例的一方面，工艺腔室包括用于接收至少一种化学物质的开口；设有复数个工件夹具的平台，所述工件夹具用于垂直持有复数个工件；复数个加热器，每个所述加热器设于两个工件之间；复数个沉积装置，每个所述沉积装置设于两个工件之间。因而，每个工件都位于一个所述加热器和一个所述沉积装置之间，其中，每个所述沉积装置包括至少两个设有孔的喷射板，化学物质可通过所述两个喷射板喷射到工件上。