Verfahren zur Funktionsüberprüfung eines Inertialsensors und Inertialsensor

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Funktionsüberprüfung eines Inertialsensors (201, 301), wobei ein erstes Testsignal (323) mit einer ersten Frequenz an einer Testelektrode des Inertialsensors (201, 301) zum Anregen einer Schwingung einer Schwingmasse (203) eingespeist wird und ein der Schwingmasse (203) entsprechendes erstes Antwortsignal erfasst wird, wobei ein zweites Testsignal (325) mit einer von der ersten Frequenz verschiedenen zweiten Frequenz an der Testelektrode eingespeist wird, wobei ein der Schwingmasse (203) entsprechendes zweites Antwortsignal erfasst wird und beide Antwortsignale ausgewertet werden. Die Erfindung betrifft ferner einen Inertialsensor (201, 301).