MEASUREMENT METHOD FOR HEIGHT PROFILES OF SURFACES

摘要

Ein Verfahren zur optischen Messung von Höhenprofilen von Oberflächen, bei welchem ein Bild des Höhenprofils mit einem optischen Aufnahmesystem aufgenommen wird, ist dadurch gekennzeichnet, dass das Bild ein Differentialinterferenzkontrastbild ist und Höhengradienten innerhalb des Höhenprofils durch Intensitätsgradienten repräsentiert sind, welche quantitativ oder qualitativ auswertbar sind. Die Oberflächen können Strukturen mit einem definierten Profil aufweisen, bei denen Intensitätsgradienten im Differentialinterferenzkontrastbild, die innerhalb einer vorgegebenen Toleranz und innerhalb eines vorgegebenen Bereichs einen von einem Soll-Wert abweichenden Wert oder einen innerhalb einer vorgegebenen Toleranz und innerhalb eines vorgegebenen Bereichs liegenden, ausgewählten Wert, insbesondere Null, annehmen, einen Defekt anzeigen.