| 摘要 |
Zur Lagebestimmung von Subaperturen auf einem Prüfling erfolgen die Schritte a) Erzeugen eines Datensatzes aus einer Subaperturmessung des Prüflings (1) mit einer Messvorrichtung (2), b) Berechnung der Koordinaten wenigstens einer Position des Prüflings (1) oder des Interferometers (2) in einem ersten wenigstens zweidimensionalen, vorzugsweise dreidimensionalen Koordinatensystem, c) Erweiterung des aus Schritt a) erhaltenen Datensatzes um die in Schritt b) erhaltenen Koordinaten. Unter Verwendung eines Prüflings mit einer Oberfläche mit ersten und zweiten Markierungen (3) oder eines Interferometers (2) mit einer Oberfläche mit ersten und zweiten Markierungen (3) erfolgt weiter ein Schritt a) der Erfassung wenigstens eines ersten zweidimensionalen Abbildes aus einem ersten Aufnahmefeld, das die ersten und zweiten Markierungen (3) erfasst. Die Berechnung in Schritt b) erfolgt aus Positionen der ersten und zweiten Markierungen (3) auf den ersten Abbildern durch Triangulation. Die Lagebestimmung dient vorteilhaft einem Stitchingverfahren. Die Erfindung betrifft auch eine der Lagebestimmung angepasste Vorrichtung. |
