一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，是用物理气象沉积方法制备平坦化金属薄膜，调节制程工作压力来达到不同成分或合金设计的前趋物金属的平坦化，使制得的金属薄膜的表面粗度减少了百倍左右，进而改变单层或多层前驱层薄膜的平坦化设计，在硒化与硫化过程中，以达到降低吸收层表面粗度的要求。

主权项

一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铟金属薄膜时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10‑2‑0.9×10‑2mtorr，用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为10‑50mtorr，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铟金属薄膜。