用于化学机械平坦化中使用的固结磨料的接合技术

摘要

本发明提供了一种磨料制品，所述磨料制品包含支承垫、第一磨料元件、第二磨料元件和固定机构。所述支承垫具有第一主表面、第二主表面、第一边缘、第二边缘和沟槽。沟槽形成在所述第一主表面内并自所述第一边缘延伸到所述第二边缘。所述第一和第二磨料元件各自能够布置在所述支承垫的一部分上。所述固定机构布置在所述沟槽内并将所述第一磨料元件的边缘和所述第二磨料元件的边缘固定到所述支承垫。

主权项

一种磨料制品，所述磨料制品包括：支承垫，所述支承垫具有第一主表面、第二主表面、第一边缘、第二边缘和沟槽，其中所述沟槽形成在所述第一主表面内，并自所述第一边缘延伸到所述第二边缘；第一磨料元件，所述第一磨料元件能够布置在所述支承垫的一部分上；第二磨料元件，所述第二磨料元件能够布置在所述支承垫的一部分上；和固定机构，所述固定机构布置在所述沟槽内，以用于将所述第一磨料元件的边缘和所述第二磨料元件的边缘固定到所述支承垫。