散斑相关和散斑干涉相结合的三维变形测量系统

摘要

本实用新型涉及一种散斑相关和散斑干涉相结合的三维变形测量系统，它包括激光器，激光器发出的激光扩束后经过半透半反镜，分别照到被测物体和参考物面，两者同时经过半透半反镜由成像透镜成像在CCD摄像机上，半透半反镜相对于入射光线成45°角倾斜放置，有参考光路时，在CCD摄像机的靶面上物面散斑和参考面散斑相互干涉，形成干涉散斑图像，测量离面位移分量，去掉参考物光路，采集物面上的散斑图像，利用变形前后的两幅散斑图，运用散斑相关运算计算出面内位移的二个分量。它利用典型的对离面位移敏感的数字散斑光路，实现了散斑相关测量物体的面内位移和散斑干涉离面位移，实现了三维位移测量，具有光路简单、操作和数据处理简单快捷的优点。

主权项

一种散斑相关和散斑干涉相结合的三维变形测量系统，其特征是，它包括激光器，激光器发出的激光送入扩束镜；扩束镜后方设有与入射光线成45°角倾斜放置的半透半反镜，半透半反镜的反射光照射到被测物，透射光则照射到参考物面，参考物面与PZT相移器连接构成参考光路；被测物的散斑图像经过半透半反镜由成像透镜成像在CCD摄像机上，利用被测物变形前后的两幅散斑图，计算出面内位移的二个分量；在参考光路工作时被测物表面的散斑图像与参考物面的散斑图像形成干涉散斑图像，并由成像透镜成像在CCD摄像机上，测量物体离面位移分量。