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<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Schutz von Elektrodenhalterungen in CVD Reaktoren, umfassend eine zur Aufnahme eines Filamentstabs geeigneten Elektrode auf einer Elektrodenhalterung aus einem elektrisch leitfähigen Material, die in einer Aussparung einer Bodenplatte angebracht ist, wobei ein Zwischenraum zwischen Elektrodenhalterung und Bodenplatte mit einem Dichtungsmaterial abgedichtet ist und das Dichtungsmaterial durch einen ein- oder mehrteilig aufgebauten, ringförmig um die Elektroden angeordneten Schutzkörper geschützt wird, wobei der Schutzkörper in Richtung der Elektrodenhalterung zumindest abschnittsweise in seiner Höhe zunimmt.
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