基板收纳容器

摘要

提供一种基板收纳容器，其能够抑制容器主体和盖体等带电而吸附颗粒，从而防止颗粒对基板的污染。该基板收纳容器具备：容器主体（1），其收纳半导体晶片（W）并利用左右成对的支承片（2）支承半导体晶片（W）；拆装自如的盖体（10），其开闭容器主体（1）的开口的正面；以及接口部（40），其配设于容器主体（1）和盖体（10），并与加工装置的装载端口装置（31）连接，在盖体（10）开闭容器主体（1）的开口的正面的情况下，盖体（10）定位连接于装载端口装置（31），容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）分别由导电性材料形成，使其表面电阻值为103～1012Ω的范围内，以抑制颗粒随着容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）带静电而附着于容器主体（1）及其成对的支承片（2）、盖体（10）以及接口部（40）。

主权项

一种基板收纳容器，该基板收纳容器具备：容器主体，其收纳基板并利用支承片支承基板；盖体，其开闭该容器主体的开口面；以及接口部，其设置于所述容器主体和盖体中的至少任一方，并与外部装置接触，在盖体开闭容器主体的开口面的情况下，盖体定位连接于外部装置，其特征在于，容器主体及其支承片、盖体以及接口部分别由导电性材料形成，使其表面电阻值为103～1012Ω的范围内，以抑制颗粒随着容器主体及其支承片、盖体以及接口部带静电而附着于容器主体及其支承片、盖体以及接口部。