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发明名称
摘要
申请公布号 JP5150284(B2) 申请公布日期 2013.02.20
申请号 JP20080019365 申请日期 2008.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L43/08;G01R33/09;G11B5/39;H01L21/8246;H01L27/105;H01L43/12 主分类号 H01L43/08
代理机构 代理人
主权项
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