主权项 |
一种探针形状检测装置,其特征在于,具有:驱动信号发送部,其发送驱动信号,该驱动信号用于使沿着具有细长形状的探针的长度方向设置的磁场产生元件产生磁场;第1磁场检测部,其检测由所述磁场产生元件产生的磁场作为相互垂直的3个轴方向的磁场成分,并且,输出与检测到所述3个轴方向的磁场成分时产生的第1电动势组对应的磁场检测信号;第2磁场检测部,其设置在与所述第1磁场检测部不同的位置,检测由所述磁场产生元件产生的磁场作为所述3个轴方向的磁场成分,并且,输出与检测到所述3个轴方向的磁场成分时产生的第2电动势组对应的磁场检测信号;候选位置存储部,其存储多个表示所述磁场产生元件可取的候选位置的候选位置信息;候选矢量运算部,其根据所述第1电动势组和从所述候选位置存储部读入的一个候选位置信息计算候选矢量,该候选矢量表示在假设与该一个候选位置信息对应的位置存在所述磁场产生元件的情况下的所述磁场产生元件的朝向;估计电动势运算部,其根据从所述候选位置存储部读入的所述一个候选位置信息和所述候选矢量运算部中计算出的所述候选矢量,计算估计在检测到由所述磁场产生元件产生的磁场时产生的估计电动势;误差运算部,其计算所述第2电动势组与所述估计电动势之间的误差;估计位置取得部,其根据所述误差运算部的计算结果,取得作为所述候选位置信息示出的全部候选位置中的所述误差最小的候选位置,作为所述磁场产生元件的估计位置;以及图像生成部,其根据所述估计位置取得部中取得的各估计位置,生成表示所述探针的形状的形状检测图像。 |