磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法

摘要

磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，它属于耐磨耐蚀涂层领域。本发明要解决现有磷化硼薄膜制备方法存在寿命短的技术问题。本发明方法：一、超声清洗；二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空至真空度达到1.0×10-7～9.9×10-7Pa，启动加热装置，加热至200～600℃后保温10～30分钟；步骤三、反溅清洗；步骤四、以高纯硼靶和PH3做反应物镀膜，制得磷化硼耐磨耐蚀涂层。本发明制备的磷化硼薄膜具有很高的硬度与模量，与基底良好的附着性以及很低的残余应力，在摩擦磨损过程中磨损率小，磨损寿命长。

主权项

磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，其特征在于磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法是按下述步骤进行的：步骤一、将不锈钢衬底依次用丙酮、乙醇和去离子水超声清洗；步骤二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空至真空度达到1.0×10‑7～9.9×10‑7Pa，启动加热装置，加热至600℃后保温10分钟；步骤三、然后向真空仓内通入氩气至真空仓内压强为3Pa，对不锈钢衬底表面进行反溅清洗5分钟；步骤四、再施加溅射功率启辉，溅射功率为120W，调节氩气的气体流量为50sccm，PH3的气体流量为50sccm，高纯硼作溅射靶材，移开挡板向不锈钢衬底表面镀膜，镀膜结束后，关闭所有电源，待真空仓内温度降至室温时即制得磷化硼耐磨耐蚀涂层。