一种无源高分子聚合物基湿度传感器及其制备和检测方法

摘要

本发明公开了一种无源高分子聚合物基湿度传感器及其制备和检测方法。包括湿敏材料层、金属电极层和引线端子，中间为湿敏材料层，由Nafion溶液固化而成，在湿敏材料层的上下表面化学镀Ag膜作为金属电极层，在金属电极层的表面采用真空镀钛膜，形成面积为2~3mm2的引线端子。制备以Nafion溶液固化制备湿敏材料层，湿敏材料层上下表面采用化学镀Ag；最后采用真空蒸发镀膜法在金属电极层表层镀钛膜制备引线端子。可以实现无源传导，环境适应性强，易于小型化。

主权项

一种无源高分子聚合物基湿度传感器，包括湿敏材料层（1）、金属电极层（2）和引线端子（3），其特征在于，为层状结构，中间为湿敏材料层（1），所述的湿敏材料层（1）为Nafion溶液固化而成，在湿敏材料层（1）的上下表面化学镀Ag膜作为金属电极层（2），在金属电极层（2）的表面采用真空镀钛膜，形成面积为2~3mm2的引线端子（3）。