可调式真空磁控溅射阳极罩

摘要

本实用新型公开了一种可调式真空磁控溅射阳极罩，包括固定在靶背面的阳极罩，阳极罩的外侧面上设置有阳极罩溅射孔，其中，在阳极罩溅射孔的一侧设置有可以调节的活动挡板，所述活动挡板包括铰接在一起的上半部分和下半部分，上、下两部分挡板的非固定端绕节点运动时在阳极罩上表面移动，保证其与阳极罩上表面平行。本实用新型能灵活调节靶材的有效溅射面积，也可实现对阳极罩溅射孔上、下的宽度进行单独调整，能够处理多种工艺调节中常为出现的方阻状态。L型推杆可以对活动挡板进行调整，能够在非停机状态下对工艺进行改善，有效缩短恢复工艺时间。

主权项

一种可调式真空磁控溅射阳极罩，包括固定在靶背面的阳极罩，阳极罩的外侧面上设置有阳极罩溅射孔，其特征是：所述阳极罩溅射孔为矩形孔，在阳极罩溅射孔的一侧设置有可以调节的活动挡板。