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发明名称 Micro-mirror assembly with coating and method for its production
摘要
申请公布号 EP2463693(A3) 申请公布日期 2013.02.20
申请号 EP20120152649 申请日期 2010.04.01
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 WEISENRIEDER, KARL-STEFAN;LOERCHER, ROLAND;PAZIDIS, ALEXANDRA
分类号 G02B5/22;G02B5/08;G02B26/08;G03F7/20 主分类号 G02B5/22
代理机构 代理人
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