用于制造微通道板的半导体玻璃

摘要

一种用于制造微通道板的半导体玻璃，属于半导体玻璃技术领域。其成分按质量%数配比为：（P2O5+V2O5）60-75%；（FeO+WO3）5-25%；Sb2O3≤4%；PbO≥15%。优点：能得到玻璃状态稳定的、符合制造微通道板的化学组成，从而形成比较理想的微通道板半导体玻璃；能显著降低对莫莱石质耐火坩埚的润湿性及侵蚀程度，并且还可增进在制造微通道板工艺中对酸处理的耐腐蚀程度；使硬度得以改善，保障后续工序的打磨抛光质量；能保障半导体玻璃中过渡金属离子价态的稳定性；能满足微通道板对半导体玻璃材料体电阻在5×107～5×109Ω范围的要求。

主权项

一种用于制造微通道板的半导体玻璃，其特征在于其成分按质量%数配比为：（P2O5+V2O5）                    60‑75%；（FeO+WO3）                            5‑25%；Sb2O3                                              ≤4%；PbO                                     ≥15%。