一种监控设备运行状态的系统及方法

摘要

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种监控设备运行状态的系统及方法。本发明提出一种监控设备运行状态的系统及方法，通过根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警，同时将该疑似死机的设备信息显示出来，以便于工程师方便、及时、准确的对异常的生产设备进行检查分析，从而在提高工程师巡检效率的同时，有效的避免了生产设备机时的浪费，进而降低了整个生产工艺的成本。

主权项

一种监控设备运行状态的系统，应用于自动化生产线上，包括用于对芯片进行工艺处理的生产设备，其特征在于，还包括： 监测模块，与所述生产设备进行通讯连接，以用于从所述生产设备上提取设备信息；判断模块，分别与所述自动化生产线和所述检测模块进行通讯连接，根据提取的所述设备信息判断所述生产设备的运行状态，并根据该运行状态决定是否触发警报。