| 发明名称 | 用于金属线的蚀刻剂和使用其来制造金属线的方法 | ||
| 摘要 | 本发明的示例性实施方式提供了金属线蚀刻剂。根据本发明的示例性实施方式的金属线蚀刻剂包含过硫酸铵、有机酸、铵盐、含氟化合物、二醇类化合物和唑类化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN102939407A | 申请公布日期 | 2013.02.20 |
| 申请号 | CN201180014543.3 | 申请日期 | 2011.02.17 |
| 申请人 | 三星显示有限公司;东进世美肯株式会社 | 发明人 | 徐南锡;洪瑄英;郑钟铉;金俸均;朴弘植;宋溱镐;李旺宇;金图元;金相佑;徐源国;申贤哲;李骐范;曹三永 |
| 分类号 | C23F1/34(2006.01)I;C23F1/02(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 张英;王玉桂 |
| 主权项 | 一种蚀刻剂，包含：过硫酸铵；有机酸；铵盐；含氟化合物；二醇类化合物；以及唑类化合物。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||