发明名称 Slit nozzle rip rinser unit having a position control function
摘要
申请公布号 KR200465253(Y1) 申请公布日期 2013.02.19
申请号 KR20080017252U 申请日期 2008.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/68 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址