| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Solarzelle mit einem kristallinen Siliziumkern, wenigstens einer n- oder p-dotierten Silizium- oder Siliziumlegierungsschicht und wenigstens einer aus Silizium- oder einer Siliziumlegierung bestehenden Passivierungsschicht zwischen wenigstens einer Oberfläche des Siliziumkerns und der wenigstens einen n- oder p-dotierten Silizium- oder Siliziumlegierungsschicht. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Solarzelle. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Solarzelle der oben genannten Gattung zur Verfügung zu stellen, die sich durch eine vergrößerte Leerlaufspannung auszeichnet. Eine weitere Aufgabe ist ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Solarzelle bereit zu stellen. Diese Aufgabe wird einerseits durch eine Solarzelle der oben aufgeführten Gattung gelöst, die sich dadurch auszeichnet, dass die Passivierungsschicht Silizium-Mono-Hydrid-Molekülgruppen (Si-H) und Silizium-Di-Hydrid-Molekülgruppen (Si-H2) aufweist, wobei ein Verhältnis (Q) der Anzahl von Silizium-Di-Hydrid-Molekülgruppen (nSi-H2) zu der Gesamtanzahl von Silizium-Di-Hydrid-Molekülgruppen und Silizium-Mono-Hydrid-Molekülgruppen (nSi-H) + (nSi-H) in einem Vergleichsvolumen der Passivierungsschicht größer als 0,4 istDie Aufgabe wird ferner durch ein Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle der oben genannten Gattung gelöst, das sich dadurch auszeichnet, dass die Passivierungsschicht in mehreren Teilschritten eines Plasmaentladungsprozesses derart abgeschieden wird, dass die produzierte Passivierungsschicht Silizium-Mono-Hydrid-Molekülgruppen (Si-H) und Silizium-Di-Hydrid-Molekülgruppen (Si-H2) aufweist und ein Verhältnis (Q) der Anzahl von Silizium-Di-Hydrid-Molekülgruppen (nSi-H2) zu der Gesamtanzahl von Silizium-Di-Hydrid-Molekülgruppen und Silizium-Mono-Hydrid-Molekülgruppen (nSi-H2 + nSi-H) in einem Vergleichsvolumen der Passivierungsschicht größer als 0,4 ist</p> |
