| 发明名称 |
LASER BEAM MACHINING METHOD AND SEMICONDUCTOR CHIP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20130016406(A) |
申请公布日期 |
2013.02.14 |
| 申请号 |
KR20127034264 |
申请日期 |
2005.11.10 |
| 申请人 |
HAMAMATSU PHOTONICS K.K. |
发明人 |
SUGIURA RYUJI;SAKAMOTO TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/78;B23K26/00;H01L21/301 |
主分类号 |
H01L21/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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