一种六氟化硫气体净化提纯组罐

摘要

本实用新型涉及一种六氟化硫气体净化提纯组罐。由上至下依次设置排气罐（4）、第一液化罐（7）、第二液化罐（10），排气口（1）位于排气罐（4）顶部且设置有第一阀门（2），排气罐（4）与第一液化罐（7）连通；第一液化罐（7）内有第一制冷盘管（28）且设置第二液位传感器（25）；还包括三通管路（30）其中两端分别连接第一液化罐（7）底部和第二液化罐（10），三通管路（30）的第三端为第二出液口（19）；第二液化罐（10）设有排气管（31）通入第一液化罐（7）内，第二液化罐（10）内设置第二制冷盘管（29）。本实用新型具有处理效率高，处理后气体纯度高，尾气无污染等优点。

主权项

一种六氟化硫气体净化提纯组罐，其特征在于：由上至下依次设置排气罐（4）、第一液化罐（7）、第二液化罐（10），排气口（1）位于排气罐（4）顶部且设置有第一阀门（2），排气罐（4）与第一液化罐（7）连通且设置第二阀门（26）；第一液化罐（7）内有第一制冷盘管（28）且设置第二液位传感器（25），第一液化罐（7）侧壁下段设置进气口（22）；还包括三通管路（30）其中两端分别连接第一液化罐（7）底部和第二液化罐（10），近第二液化罐（10）端设置第三阀门（18），三通管路（30）的第三端为第二出液口（19）且设置有第六阀门（20）；第二液化罐（10）设有排气管（31）通入第一液化罐（7）内，排气管（31）出口位置高于进气口（22），排气管（31）设置第四阀门（8），第二液化罐（10）内设置第二制冷盘管（29），第二液化罐（10）底部设置有第一出液口（11），第一出液口（11）上设置第五阀门（12）。