降低硅锭中部缺陷的方法和应用该方法的铸锭炉

摘要

本发明公开了一种铸锭炉，包括容纳硅料的石英坩埚，以及支撑所述石英坩埚的散热台，还包括设于所述石英坩埚和所述散热台之间的导热增高块。导热增高块可以有效提高硅锭在热场中的高度，使散热台的上表面与石英坩埚的下表面之间有适量的距离，弱化硅锭底部向四周的散热量，增大硅锭底部的中心散热量。这样，硅锭结晶过程中不仅增大了热对流区域，减小了温度梯度，达到降低硅锭中部缺陷的目的；而且利用该铸锭炉没有减慢硅锭的结晶速度，确保了铸锭炉运行周期。同时，石英坩埚内表面涂层受破坏的可能性降低，硅溶液与坩埚反应导致硅锭内部裂纹的可能性也降低，硅锭利用率有保障。本发明还提供一种应用上述铸锭炉的方法，用于降低硅锭中部缺陷。

主权项

一种铸锭炉，包括容纳硅料的石英坩埚，以及支撑所述石英坩埚的散热台，其特征在于，还包括设于所述石英坩埚和所述散热台之间的导热增高块。