一种铝丝键合机Z向与转角运动的结构

摘要

一种铝丝键合机Z向与转角运动的结构，属于半导体集成电路制造设备结构。包括一个转角机构和一个Z向运动机构，转角机构采用二个皮带传动机构和一个花键机构驱动Z向运动轴转动，Z向运动机构采用Z向丝杆驱动Z向运动轴作Z向运动。其优点是把Z向运动和转角运动分离开来，通过花键轴的连接，在焊头做Z向运动过程中通过一种轴承结构带动花键轴套做Z向运动，这样有效防止了同步带的受拉变形。当伺服电机带动花键轴旋转时，通过花键轴套把旋转变化量传递到焊头上。这样就在两个运动自由度下，保证了两个电机的负载较小。并且消除了同步带在不同位置的长度变化。提高了设备的稳定性和精确度。

主权项

一种铝丝键合机Z向与转角运动的结构，它包括一个转角机构和一个Z向运动机构，其特征在于：所述转角机构采用二个皮带传动机构和一个花键机构驱动Z向运动轴（15）转动，所述Z向运动机构采用Z向丝杆(16)驱动Z向运动轴（15）作Z向运动；转角驱动电机(1)经第一皮带传动机构驱动花键轴(5)，在花键轴(5)上的花键轴套(6) 经第二皮带传动机构驱动Z向运动轴（15）。