一种单晶硅片制绒液回收装置及回收方法

摘要

本发明提供一种单晶硅片制绒液回收装置及回收方法。现有技术单晶硅片制绒液使用一段时间失效后就将其全部废弃排放，从而造成物料的浪费和环境的污染。本发明的单晶硅片制绒液回收装置及回收方法先提供一蒸馏模块，并将待回收的单晶硅片制绒液存放至所述蒸馏模块中，然后控制所述蒸馏模块的压力降至一预设压力范围，且控制待回收的单晶硅片制绒液至一预设温度范围，接着维持所述压力和温度一预设时段以对待回收的单晶硅片制绒液进行所述预设时段的蒸馏，最后将蒸馏出的蒸汽进行冷凝且将冷凝所得的液体进行回收利用。本发明有效降低了生产成本，并避免污染环境。

主权项

一种单晶硅片制绒液回收装置，其特征在于，所述装置包括：蒸馏模块，用于存放待回收的单晶硅片制绒液；减压模块，连接至所述蒸馏模块且用于降低蒸馏模块的压力；加热模块，设置在蒸馏模块中，用于对其中待回收的单晶硅片制绒液进行加热；控制模块，用于控制减压模块将蒸馏模块的压力降至一预设压力范围，且控制加热模块将待回收的单晶硅片制绒液加热至一预设温度范围，且维持所述压力和温度一预设时段以进行所述预设时段的蒸馏；以及冷凝模块，连接至所述蒸馏模块且用于将从蒸馏模块蒸馏出来的蒸汽冷却以进行回收利用。