| 发明名称 | 用于形成溅射材料层的系统和方法 | ||
| 摘要 | 本公开描述了一种涂覆衬底(110)的方法，所述方法包括在衬底(110)上形成溅射材料层(806)的步骤。形成溅射材料层的步骤可以包括以下步骤：将来自至少一个可旋转靶材(120’)的材料溅射在衬底(110)上；以及改变至少一个可旋转靶材(120’)与衬底(110)之间的相对位置。此外，本公开描述了在溅射工艺期间改变靶材(120；120’；120”)与衬底之间的距离。本公开还描述了用于涂覆衬底的系统。 | ||
| 申请公布号 | CN102934197A | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN201180027703.8 | 申请日期 | 2011.07.22 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 马库斯·班德尔;马卡斯·哈尼卡;伊夫林·希尔;法毕奥·皮拉里斯;盖德·曼克;拉尔夫·林德伯格;安德里亚斯·鲁普;科拉德·施沃恩特兹;刘健 |
| 分类号 | H01J37/34(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 王安武 |
| 主权项 | 一种涂覆衬底(110)的方法，所述方法包括以下步骤：在所述衬底(110)上形成溅射材料层(806)，其中形成所述溅射材料层的步骤包括以下步骤：将来自至少一个可旋转靶材(120’)的材料溅射在所述衬底(110)上；以及改变所述至少一个可旋转靶材(120’)与所述衬底(110)之间的相对位置。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||