一种激光加工的方法

摘要

本发明属于激光加工领域，公开了一种激光加工的方法，采用激光方向选择性斜入射作用于待加工材料的加工方法，具体为激光经聚焦后得到聚焦光束，聚焦光束直接作用于待加工材料的待加工表面上；把聚焦光束当作方向矢量，沿着平行和垂直于待加工表面分解为X方向和Y方向；聚焦光束的传输方向与Y方向之间成大于0度小于45度的角度；待加工材料的运动方向与X方向之间的空间矢量夹角小于30度；待加工材料与作用于待加工平面上的激光焦点进行相对运动。应用本发明的技术方案具有以下效果：与目前采用激光正入射方式加工相比，更能够避免待加工材料激光等离子体的对激光束的散射、反射、吸收等负面影响，同时可以得到更高的光斑重叠度和激光切逢边缘质量。

主权项

一种激光加工的方法，其特征在于：采用激光方向选择性斜入射作用于待加工材料的加工方法，具体为激光经聚焦后得到聚焦光束，所述聚焦光束直接作用于所述待加工材料的待加工表面上；把所述聚焦光束当作方向矢量，沿着平行和垂直于所述待加工表面分解为X方向和Y方向；所述聚焦光束的传输方向与Y方向之间成大于0度小于45度的角度；所述待加工材料的运动方向与X方向之间的空间矢量夹角小于30度；所述待加工材料与作用于所述待加工平面上的激光焦点进行相对运动。