| 发明名称 | 一种带有破空功能的分子泵 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体，所述的分子泵泵体上分别设有两个中间进气口和一个分子排气口，所述的分子泵泵体上分子排气口处还设有分子泵破空阀，所述的分子泵破空阀还连接有过滤一体化节流装置。本实用新型结构简单，所用材料为常规材料，成本低，延长了分子泵的使用寿命，能使分子泵在停止工作后从高转速快速降至停止状态。 | ||
| 申请公布号 | CN202732472U | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN201220257850.6 | 申请日期 | 2012.06.02 |
| 申请人 | 安徽皖仪科技股份有限公司 | 发明人 | 张志;胡眉 |
| 分类号 | F04D29/40(2006.01)I;F04D29/00(2006.01)I;F04D29/70(2006.01)I | 主分类号 | F04D29/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人 | 余成俊 |
| 主权项 | 一种带有破空功能的分子泵，包括有分子泵泵体，所述的分子泵泵体上分别设有两个中间进气口和一个分子排气口，其特征在于：所述的分子泵泵体上分子排气口处还设有分子泵破空阀，所述的分子泵破空阀还连接有过滤一体化节流装置。 | ||
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新区天达路71号华亿科技园B幢皖仪大厦 | ||