新型离心式晶浆泵

摘要

本实用新型提供一种新型离心式晶浆泵，在泵轴上安装有叶轮、副叶轮和轴套，飞铁块安装在轴套上；动密封座和推力盘用螺纹连接安装在泵盖上，弹簧安装在动密封座内，密封环通过弹簧的预紧力压在泵盖的密封面上；耐磨板镶嵌在泵体内。本实用新型结构新颖、安装快速、密封效果好、耐磨损、稳定性高、使用寿命长。

主权项

一种新型离心式晶浆泵，其特征是在泵轴上安装有叶轮(6)、副叶轮(7)和轴套，飞铁块(1)安装在轴套上；动密封座(3)和推力盘(2)用螺纹连接安装在泵盖(5)上，弹簧(8)安装在动密封座(3)内，密封环(4)通过弹簧(8)的预紧力压在泵盖(5)的密封面上；耐磨板(9)镶嵌在泵体(10)内。