裸片供给装置

摘要

本实用新型提供一种能够迅速地进行裸片的取出作业的裸片供给装置。裸片供给装置（1）具备：负压管线（2）；大气压管线（3）；能够对负压管线（2）和大气压管线（3）进行切换的阀（4）；吸附台（5），具有：吸附孔（53），其与阀（4）连通，通过负压管线（2）的负压对切割膜（91）中的在表面贴附有作为取出对象的裸片（93）的区域（C 1）的背面进行吸附；和销（54），其在区域（C1）被吸附的状态下使区域（C1）的一部分（C2）向表面侧突出，将裸片（93）从切割膜（91）剥离并使裸片（93）突出，直至达到由吸嘴（95）取出裸片（93）的位置；及共用的驱动部（6），使阀（4）的切换动作与销（54）的进退动作以规定的时序进行联动。

主权项

一种裸片供给装置，其特征在于，具备：供给负压的负压管线；供给大气压的大气压管线；能够对所述负压管线和所述大气压管线进行切换的阀；吸附台，具有：吸附孔，所述吸附孔与所述阀连通，通过从所述负压管线供给的负压，对贴附有多个裸片的切割膜中的在表面贴附有作为取出对象的所述裸片的区域的背面进行吸附；和销，所述销能够向表面方向和背面方向进退，且在所述区域被吸附的状态下使所述区域的一部分向表面侧突出，一边将所述裸片从所述切割膜剥离，一边使所述裸片突出，直至达到由吸嘴取出所述裸片的位置；及共用的驱动部，使所述阀的切换动作与所述销的进退动作以规定的时序进行联动。