发明名称 |
一种板式ETP PECVD 结构 |
摘要 |
本实用新型涉及一种平板式ETPPECVD沉积系统,用于光伏领域内氮化硅、氢化非晶/微晶硅薄膜的沉积。一种板式ETPPECVD系统,上料台、下料台、电路系统、气路系统、自动控制系统、冷却水循环系统、真空下石墨载板传输系统通过螺栓依次固定于台架上,其特征在于:第一和第二初级真空腔室分别与各自的真空抽气系统连接;预热腔室和氢钝化腔室、SiNx薄膜沉积腔室、冷却腔室通过管路与第一和第二初级真空腔室连接;ETPPECVD沉积腔室通过管路和真空抽气系统连接。本实用新型实现了生产线流水作业、快速沉积,解决了微波等离子体平板PECVD存在的产能低和成本较高等问题。 |
申请公布号 |
CN202730227U |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN201220345588.0 |
申请日期 |
2012.07.17 |
申请人 |
成都达信成科技有限公司 |
发明人 |
芶富均 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种板式ETP PECVD结构,包括上料台、下料台、电路系统、气路系统、自动控制系统、冷却水循环系统、真空下石墨载板传输系统通过螺栓依次固定于台架上,其特征在于:第一和第二初级真空腔室分别与各自的真空抽气系统连接;预热腔室和氢钝化腔室、SiNx薄膜沉积腔室、冷却腔室通过管路与第一和第二初级真空腔室连接;ETP PECVD沉积腔室通过管路和真空抽气系统连接。 |
地址 |
610200 四川省成都市双流西南航空港经济开发区工业集中区(西航港科技孵化园) |