基板收纳装置

摘要

本实用新型提出一种基板收纳装置，包括一升降模块、一收纳模块、一送气模块及一输送单元。收纳模块设置于升降模块。送气模块设置于收纳模块一侧。送气模块使基板间形成一气流层，降低基板间的阻力，使基板收纳更加整齐。

主权项

一种基板收纳装置，用以收纳数片基板，其特征在于，包括：一用以收纳该些基板的收纳模块；一送气模块，设置于该收纳模块一侧且其送气方向面对该收纳模块，用以在收纳该多个基板时送出导引气流于该多个基板间且形成一气流层，该送气模块具有一中空壳体，该中空壳体上具有至少一进气孔，该中空壳体上面对该收纳盒的一面具有数个出气孔；及一升降模块，该收纳模块设置于该升降模块，用以随该些基板堆栈高度升高而降低该收纳模块。