蜡式微型致动器

摘要

一种致动器，包括空腔(2)，其容纳工作介质(3)，所述工作介质随着其进行从固态到液态的相变而可逆地膨胀；隔膜(4)，其相邻于所述空腔布置，使得可膨胀工作介质的膨胀和收缩导致隔膜挠曲；以及半导体元件(6)，其被布置在所述空腔内，其中所述半导体元件适于加热所述工作介质以使其进行变为液态的相变。所述致动器可在用于输注系统的泵中使用。

主权项

一种致动器，包括：一空腔，其容纳工作介质，所述工作介质随着其进行从固态到液态的相变而可逆地膨胀；一隔膜，其相邻于所述空腔布置，使得可膨胀工作介质的膨胀和收缩导致所述隔膜挠曲；以及一半导体元件，其被布置在所述空腔内，其中所述半导体元件适于加热所述工作介质以使其进行变为液态的相变，所述半导体元件相邻于所述隔膜被浸在所述工作介质中，使得最接近所述隔膜的所述工作介质的部分是在所述半导体元件通电时最先膨胀并且在所述半导体元件去激励时最后收缩的部分，并且所述空腔内的仅一些工作介质在致动过程中经历相变。