| 发明名称 | 包括吸气剂泵和离子泵的组合式抽气系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种组合式抽气系统(10)，包括吸气剂泵(12)和离子泵(13)。所述吸气剂泵和离子泵(12、13)安装在同一法兰(11)上并且设置在所述法兰(11)同侧的两个不同点处。 | ||
| 申请公布号 | CN101978463B | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN200980109641.8 | 申请日期 | 2009.03.26 |
| 申请人 | 工程吸气公司 | 发明人 | M·L·费里斯;A·孔特 |
| 分类号 | H01J41/00(2006.01)I | 主分类号 | H01J41/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 林振波 |
| 主权项 | 一种组合式抽气系统(10)，包括吸气剂泵(12)和离子泵(13)，其特征在于，所述吸气剂泵和离子泵(12、13)安装在同一法兰(11)上，并且设置在所述法兰(11)同侧的两个不同点处。 | ||
| 地址 | 意大利米兰 | ||