半导体集成电路

摘要

本发明提供一种对内部电路提供适当电源电压的半导体集成电路。作为解决手段，半导体集成电路(10)在本电路(10)的芯片上的多个位置配置工序监视电路(16～24)，检测各配置处的监视数据，电源电压提供电路(14)生成与这些监视数据对应的电源电压(102)，将该电源电压(102)提供给本电路(10)的内部电路组(12)，由此，在芯片间因制造工序的好坏和芯片内温度不同而产生芯片间偏差的情况下，针对每个芯片提供适当电源电压，并且，即使在产生芯片内偏差的情况下，也能够对芯片内的各个位置提供适当电源电压而不增大芯片面积。

主权项

一种半导体集成电路，包括对一个以上的内部电路提供电源电压的电源电压提供单元，其特征在于，该半导体集成电路具有：多个工序监视单元，其被配置在该半导体集成电路上的多个位置处，根据上述电源电压进行动作，检测与各个配置相关的监视数据，上述电源电压提供单元生成与多个上述监视数据对应的上述电源电压，提供给上述内部电路，上述多个工序监视单元分别在输出端保持检测到的上述监视数据，并且，依次连接而构成一连串的串行传输连接，通过该串行传输连接对上述监视数据进行串行传输，提供给上述电源电压提供单元侧，上述工序监视单元包括比较单元以及使输入信号延迟预定的延迟时间而输出的延迟电路，通过该延迟电路得到与上述工序监视单元的动作时间相关的数据，作为上述监视数据，该比较单元对由该工序监视单元检测到的当前的监视数据、和由上述串行传输连接中的后方的工序监视单元检测到的后方的监视数据进行比较，将任意一个电平较高的监视数据传输给前方的工序监视单元。