基板检查装置及基板检查方法

摘要

本发明提供一种基板检查装置及基板检查方法，其特征在于，在倾斜放置基板的情况下，也可以抑制电气检查工序的检查精度的降低。在止动销(36)与圆孔(118)周围接触的状态下，操作操纵杆而使支撑台(12)向接近/远离方向的接近侧移动，抵抗弹簧34的预紧力而使支撑部件(22)向支撑台(12)侧移动。并且，将引导销(46)的圆锥部(46A)插入圆孔(118)中，在止动销(36)和圆锥部(46A)之间保持基板(100)。圆孔(118)的圆边缘通过接触部(40)被各个圆锥部(46A)挤压，使基板(100)沿基板(100)的表面方向移动，使基板(100)的位置偏移得到校正，从而可以抑制电气检查工序的检查精度降低。

主权项

一种基板检查装置，其特征在于，具有：相对台，其可以相对于检查对象基板位于铅直方向的上方，上述基板相对于水平方向倾斜地配置；支撑台，其隔着上述基板与上述相对台相对配置，被支撑为可以沿上述基板的板厚方向，在与上述相对台相对地接近或远离的接近/远离方向上移动；移动部件，其使上述支撑台及上述相对台中的至少一个在上述接近/远离方向上移动；支撑部件，其具有下表面支撑部和端缘支撑部，上述下表面支撑部安装为可以相对于上述支撑台在上述接近/远离方向上移动，并且，从上述基板的下表面支撑上述基板，上述端缘支撑部支撑上述基板的铅直方向下侧的端缘；第一预紧部件，其将上述支撑部件朝向上述相对台预紧；多个接触部件，其在上述接近/远离方向可移动地安装于上述相对台上，并且，如果使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，则这些接触部件分别与在上述基板上形成的多个定位用的圆孔的周围接触；第二预紧部件，其将上述接触部件朝向上述支撑台预紧；保持部件，其在上述接近/远离方向可移动地安装于上述支撑台上，具有下端部直径大于上述圆孔的圆锥状或方锥状的锥部，并且，如果在使上述接触部件与上述圆孔周围接触的状态下使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向接近/远离方向的接近侧移动，则通过使上述支撑部件抵抗上述第一预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，上述锥部插入上述圆孔中，从而在上述接触部件与上述锥部之间保持上述基板；第三预紧部件，其将上述保持部件朝向上述相对台预紧；通电部件，其基端侧安装在上述支撑台及上述相对台中的至少一个上，前端侧进行伸缩，并且，如果在上述接触部件和上述锥部之 间保持上述基板的状态下使用上述移动部件使上述支撑台及上述相对台中的至少一个向上述接近/远离方向的接近侧移动，则上述支撑部件抵抗上述第一预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，上述接触部件抵抗上述第二预紧部件的预紧力而向上述相对台侧移动，上述保持部件抵抗上述第三预紧部件的预紧力而向上述支撑台侧移动，从而，上述通电部件与设置在上述基板的一个表面或另一个表面中的至少一个上的用于进行电气检查的接触点接触而通电；以及检查部，其在上述通电部件与上述接触点接触的状态下，进行上述基板的电气检查。