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发明名称
AUTOMATIC CONTROL SYSTEM OF CHAMBER FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
KR200465339(Y1)
申请公布日期
2013.02.13
申请号
KR20110002510U
申请日期
2011.03.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/205
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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