发明名称 |
成膜速度快的电弧式蒸发源、使用该电弧式蒸发源的皮膜的制造方法及成膜装置 |
摘要 |
提供一种成膜速度快的电弧式蒸发源。本发明的电弧式蒸发源(1)具备:至少一个外周磁铁(3),其包围标靶(2)的外周,并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向;非环状的第一永磁铁(4A),其配置于标靶(2)的背面侧,具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向极性且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向;非环状的第二永磁铁(4B),其在与所述第一永磁铁(4A)隔开间隔的状态下,配置于第一永磁铁(4A)与标靶(2)之间、或配置于第一永磁铁(4A)的背面侧,具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向的极性并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向;以及磁性体(5),其配置在第一永磁铁(4A)与第二永磁铁(4B)之间。 |
申请公布号 |
CN102933738A |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN201180027644.4 |
申请日期 |
2011.06.15 |
申请人 |
株式会社神户制钢所 |
发明人 |
谷藤信一;山本兼司;野村誉;黑川好德;后藤直行 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
雒运朴 |
主权项 |
一种电弧式蒸发源,其通过在标靶的表面产生电弧放电,从而用于使所述标靶熔化,其中,该电弧式蒸发源具备:至少一个外周磁铁,其包围所述标靶的外周,并且被配置成其磁化方向沿着与所述标靶的表面正交的方向;非环状的第一永磁铁,其配置于所述标靶的背面侧,具有与所述外周磁铁的极性同方向的极性,并且被配置成其磁化方向沿着与所述标靶的表面正交的方向;非环状的第二永磁铁,其在与所述第一永磁铁隔开间隔的状态下,被配置于所述第一永磁铁和所述标靶之间、或被配置于所述第一永磁铁的背面侧,并具有与所述外周磁铁的极性同方向的极性,并且被配置成其磁化方向沿着与所述标靶的表面正交的方向;以及磁性体,其被配置在所述第一永磁铁和所述第二永磁铁之间。 |
地址 |
日本兵库县 |