抛光装置

摘要

本发明提供了一种抛光装置，包括：圆盘基座；多个抛光板，布置于所述圆盘基座上；研磨层，铺设于所述圆盘基座和所述多个抛光板之间；中心压盘，其中所述圆盘基座的中心处具有一螺纹通孔，且所述中心压盘经由一固定螺栓与所述螺纹通孔的螺纹耦合将所述研磨层固定于所述圆盘基座的上表面上；以及外圈压盘，其中所述圆盘基座的外圈设置有多个圆环状凸起，每一圆环状凸起均为中空螺纹结构，所述外圈压盘分别通过固定螺栓与所述中空螺纹结构的螺纹耦合将所述圆盘基座固定于一外部支架上。本发明可以一次性处理多个抛光板，提高了加工速度。

主权项

一种抛光装置，包括：圆盘基座；多个抛光板，布置于所述圆盘基座上；研磨层，铺设于所述圆盘基座和所述多个抛光板之间；中心压盘，其中所述圆盘基座的中心处具有一螺纹通孔，且所述中心压盘经由一固定螺栓与所述螺纹通孔的螺纹耦合将所述研磨层固定于所述圆盘基座的上表面上；以及外圈压盘，其中所述圆盘基座的外圈设置有多个圆环状凸起，每一圆环状凸起均为中空螺纹结构，所述外圈压盘分别通过固定螺栓与所述中空螺纹结构的螺纹耦合将所述圆盘基座固定于一外部支架上。