一种电容式微型胎压传感器

摘要

本发明公开了一种电容式微型胎压传感器，包括上层板、支撑板和下底板，上层板上设有对压力敏感的多层复合薄膜，多层复合薄膜中设有电容上极板；支撑板的上表面设有电容下极板，电容上极板、电容下极板形成的检测电容；下底板上设有相耦合的声表面波器件和微型天线，声表面波器件包括压电材料和两组叉指电极，其中一组叉指电极与微型天线相连接，另一组叉指电极分别与电容上极板、电容下极板相连接。本发明能够植入轮胎内部工作，以无源无线方式实现对轮胎压力的测量和结果传输，具有体积小、质量轻、成本低、免维护的优点。

主权项

一种电容式微型胎压传感器，其特征在于，包括上层板、支撑板和下底板，上层板上设有对压力敏感的多层复合薄膜，多层复合薄膜中设有电容上极板；支撑板的上表面设有电容下极板，电容上极板、电容下极板形成的检测电容；下底板上设有相连接的声表面波器件和微型天线，声表面波器件包括压电材料和两组叉指电极，其中一组叉指电极与微型天线相连接，为通讯端；另一组叉指电极分别与电容上极板、电容下极板相连接，为测量端。