| 发明名称 | 用于圆片上光敏BCB显影的夹具 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于：该夹具包括手柄（1）、连接杆（2）、大圆环（4）、小圆环（5）以及若干固定连接杆（3），所述大圆环（4）与小圆环（5）平行设置并通过所述若干固定连接杆（3）连接；所述连接杆（2）一端与所述大圆环（4）连接，另一端与所述手柄（1）连接。本实用新型解决了现有光敏BCB显影操作麻烦，显影时间不能得到有效控制从而造成光敏BCB的显影不充分或者过显的问题，使光敏BCB显影操作更加简便，BCB显影的时间得以精确控制。 | ||
| 申请公布号 | CN202736903U | 申请公布日期 | 2013.02.13 |
| 申请号 | CN201220413352.6 | 申请日期 | 2012.08.17 |
| 申请人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明人 | 孙晓玮;吕文倩;陈敏华;吴亮 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
| 主权项 | 一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于：该夹具包括手柄（1）、连接杆（2）、大圆环（4）、小圆环（5）以及若干固定连接杆（3），所述大圆环（4）与小圆环（5）平行设置并通过所述若干固定连接杆（3）连接；所述连接杆（2）一端与所述大圆环（4）连接，另一端与所述手柄（1）连接。 | ||
| 地址 | 200050 上海市长宁区长宁路865号 | ||