发明名称 |
一种晶体管关键参数的可寻址测试电路及其测试方法 |
摘要 |
本发明涉及一种晶体管关键参数测量的方法,尤其是涉及一种晶体管关键参数的可寻址测试电路及其测试方法。其特征在于:晶体管的饱和电流和漏电流通过不同的测量信号线分别测量。可寻址测试电路应用于多个MOS管的测试,每个MOS管具有栅端G、漏端D、源端S和衬底B,其特征在于:各MOS管的S端或D端分别连接至不同的测量信号线上。本发明测试电路的面积利用率高,在很小的晶圆面积上就能摆放很多的MOS管,而且,每一个MOS管的Idsat、Ioffk都能得到非常准确的测量。 |
申请公布号 |
CN102928763A |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN201210492931.9 |
申请日期 |
2012.11.28 |
申请人 |
杭州广立微电子有限公司 |
发明人 |
潘伟伟;郑勇军 |
分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
代理机构 |
浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 |
代理人 |
王桂名 |
主权项 |
一个应用于多个晶体管的测试方法,其特征在于:晶体管的饱和电流和漏电流通过不同的测量信号线分别测量。 |
地址 |
310000 浙江省杭州市西湖区华星路99号东软创业大厦B412室 |