发明名称 |
在衬底上施加金属、金属氧化物和/或半导体材料图案的方法 |
摘要 |
本发明涉及在衬底上施加金属、金属氧化物和/或半导体材料图案的方法、这种方法产生的图案和这种图案的用途。此外,本发明涉及可用于印刷的多层组合体。 |
申请公布号 |
CN101521160B |
申请公布日期 |
2013.02.13 |
申请号 |
CN200910007907.X |
申请日期 |
2009.02.25 |
申请人 |
索尼株式会社 |
发明人 |
B·吕泽姆;Z·卡里皮多;J·维泽尔斯;安田章夫 |
分类号 |
H01L21/3213(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/3213(2006.01)I |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 |
代理人 |
宋鹤 |
主权项 |
在衬底上施加金属、金属氧化物和/或半导体材料图案的方法,所述方法包括以下步骤:a)提供具有表面的第一衬底,b)用水溶性材料层将所述表面涂布,c)在所述水溶性材料层上产生金属、金属氧化物和/或半导体材料图案,d)用聚合物材料层覆盖所述金属、金属氧化物和/或半导体材料图案和所述水溶性材料层,e)用支撑层覆盖所述聚合物材料层,f)将所述第一衬底和步骤b)‑e)得到的其上面各层浸入一定体积的水或含水溶液中直到所述水溶性材料层溶解,从而由所述支撑层、所述聚合物材料层和所述金属、金属氧化物和/或半导体材料图案组成的组合体与所述第一衬底分离,g)使所述组合体的所述金属、金属氧化物和/或半导体材料图案与第二衬底保形接触,从而将所述金属、金属氧化物和/或半导体材料图案和其上的聚合物材料层施加到所述第二衬底上,其中,所述支撑层由选自如下的聚合物材料制成:聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚烯烃塑料和离聚物,其中,步骤g)通过如下进行:将步骤f)得到的组合体从所述一定体积水或含水溶液中移出并使所述金属、金属氧化物和/或半导体材料图案与所述第二衬底保形接触,其中,在步骤g)中,在使所述金属、金属氧化物和/或半导体材料图案与所述第二衬底保形接触之前或当中将其与所述第二衬底对准,其中,采用所述第二衬底和所述聚合物材料层上的标记图案或莫尔图案实现所述对准,并且所述对准采用对准装置实现。 |
地址 |
日本东京都 |