一种等离子体激励电源

摘要

本发明公开了一种等离子体激励电源，包括：初级整流滤波电路、初级高频逆变电路、一级放大电路、二级整流滤波电路、二级高频逆变电路、单片机控制电路、二级放大电路、末级整流滤波电路、限流回流装置及脉冲输出电路。该电源为产生高电压宽脉冲的输出，采用了双级高频逆变放大技术，具有自动恒压功能。在一级放大后对已整流的电压再进行一次逆变，而逆变的同时对其进行脉冲斩波。脉冲型的高频电压经二级放大后再整流滤波而形成所需的高压方波。脉冲信号由单片机控制，其产生的脉冲信号精度高，性能稳定，操作方便。

主权项

一种等离子体激励电源，包括：一初级整流滤波电路，用于将输入的三相交流电信号转换为第一直流电信号；一初级高频逆变电路，用于将第一直流电信号转换为单相高频交流电信号；一一级放大电路，用于将单相高频交流电信号放大；一二级整流滤波电路，用于将放大后的单相高频交流电信号转换为第二直流电信号；其特征在于，还包括：一二级高频逆变电路，用于将第二直流电信号转换为脉冲交流电信号；一单片机控制电路，与二级高频逆变电路相连，用于控制二级高频逆变电路将第二直流电信号转换为脉冲交流电信号；一二级放大电路，用于将脉冲交流电信号放大；一末级整流滤波电路，用于将放大后的交流电信号转换为直流脉冲信号；一脉冲输出电路，用于将直流脉冲信号输出。