用于蒸镀有机电致发光二极管电极的金属装填方法及系统

摘要

本发明涉及一种用于蒸镀有机电致发光二极管电极的金属装填方法及系统，方法包括：在密闭操作空间内填充惰性气体；在所述密闭操作空间内将被密封保存的金属取出，放入蒸发舟内；将所述蒸发舟加密封盖密封；将密封的蒸发舟从所述密闭操作空间内取出放入蒸镀空间；从所述蒸镀空间中抽出空气，直至所述蒸发舟打开。系统包括：密闭操作空间，填充有惰性气体；蒸发舟，开口状态下内置于所述密闭操作空间内；密封盖，在所述蒸发舟内置金属状态下，设置于使所述蒸发舟处于密封状态的开口处；蒸镀空间，在所述蒸发舟密封状态下，内置有所述蒸发舟。降低了OLED电极的制作工艺难度，提高了OLED电极的蒸镀质量。

主权项

一种用于蒸镀有机电致发光二极管电极的金属装填方法，其特征在于，包括：在密闭操作空间内填充惰性气体；在填充了惰性气体的所述密闭操作空间内将被密封保存的金属取出，放入蒸发舟内；在填充了惰性气体的所述密闭操作空间内将所述蒸发舟加密封盖密封；将密封的蒸发舟从填充了惰性气体的所述密闭操作空间内取出放入蒸镀空间；从所述蒸镀空间中抽出空气，直至所述蒸发舟打开；其中，还包括：在所述密封盖上与所述蒸发舟接触的部分设置弹性材料；在所述密封盖上设置弹性部件。