金属热处理装置及金属热处理方法

摘要

本发明提供一种金属热处理装置，其包括加热腔、第二偏压电源与第一偏压电源。该加热腔用于收容待处理金属以对其进行热处理，该第一偏压电源与第二偏压电源分别于该加热腔内产生两个方向相反的电场。该第一偏压电源的偏压值U₁与第二偏压电源的偏压值U₂分别满足以下关系式：n为大于或等于0的整数，u₁的取值范围为50伏至1000伏，u₂的取值范围为0伏至50伏，频率f为10⁴赫兹至10⁶赫兹，t表示时间。本发明还涉及一种金属热处理方法，以消除金属应力。

主权项

一种金属热处理装置，其包括加热腔、第二偏压电源与第一偏压电源，所述加热腔用于收容待处理金属以对其进行热处理，所述第一偏压电源与第二偏压电源分别于所述加热腔内产生两个方向相反的电场，所述第一偏压电源的偏压值U1与第二偏压电源的偏压值U2分别满足以下关系式： U 1 = u 1 cos ( 2 πft ) ( ( 2 n + 1 / 2 ) π ≤ 2 πft ≤ ( 2 n + 3 / 2 ) π ) - u 2 ( 2 nπ < 2 πft ≤ ( 2 n + 1 / 2 ) π , ( 2 n + 3 / 2 ) π ≤ 2 πft ≤ ( 2 n + 2 ) π ) , U 2 = u 1 cos ( 2 πft ) ( 2 nπ < 2 πft ≤ ( 2 n + 1 / 2 ) π , ( 2 n + 3 / 2 ) π ≤ 2 πft ≤ ( 2 n + 2 ) π ) u 2 ( ( 2 n + 1 / 2 ) π ≤ 2 πft ≤ ( 2 n + 3 / 2 ) π ) n为大于或等于0的整数，u1的取值范围为50伏至1000伏，u2的取值范围为25伏至50伏，频率f为104赫兹至106赫兹，t表示时间。