白色LED芯片及其形成方法

摘要

一种白色LED芯片及其形成方法，白色LED芯片，包括：硅衬底，依次位于硅衬底上的第一缓冲层，第一有源层，第一帽层；分别穿过第一缓冲层、第一有源层延伸至第一帽层的第一沟槽，在第一沟槽内具有第二缓冲层、第二有源层以及第二帽层；分别穿过第一缓冲层、第一有源层延伸至第一帽层的第二沟槽，在第二沟槽内具有第三缓冲层、第三有源层以及第三帽层；所述第一有源层、第二有源层、第三有源层分别选自蓝光有源层、绿光有源层以及红光有源层其中之一，且为不同色彩的有源层。本发明使一个LED芯片同时发出红、绿和蓝三种颜色光，在三种颜色光混合后可以发出白光；并且，使用晶向为沿(111)晶面偏离1～9°的硅衬底，可以减少缓冲层与硅衬底之间的位错。

主权项

一种白色LED芯片，其特征在于，包括：硅衬底，所述硅衬底的晶向为沿晶向（111）方向偏离1～9°，位于所述硅衬底上的第一缓冲层，位于所述第一缓冲层上的第一有源层，位于所述第一有源层上的第一帽层；还包括：第一沟槽，所述第一沟槽分别穿过所述第一帽层、第一有源层延伸至第一缓冲层，在所述第一沟槽内具有第二缓冲层、第二有源层以及第二帽层，且所述第二缓冲层位于所述硅衬底上，所述第二有源层位于所述第二缓冲层上，所述第二帽层位于所述第二有源层上；第二沟槽，所述第二沟槽分别穿过所述第一帽层、第一有源层延伸至第一缓冲层，在所述第二沟槽内具有第三缓冲层、第三有源层以及第三帽层，且所述第三缓冲层位于所述硅衬底上，所述第三有源层位于所述第三缓冲层上，所述第三帽层位于所述第三有源层上；其中，所述第一有源层、第二有源层、第三有源层分别选自蓝光有源层、绿光有源层以及红光有源层其中之一，且第一有源层、第二有源层、第三有源层分别为不同色彩的有源层。