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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5010080(A)
申请公布日期
1975.02.01
申请号
JP19730057951
申请日期
1973.05.23
申请人
发明人
分类号
H01L21/768;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/312;H01L23/522;H01L29/43
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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