原位压/划痕测试装置

摘要

本发明涉及一种原位压/划痕测试装置，属于机电一体化精密科学仪器领域。包括X、Y方向精密定位平台、Z方向精密线性定位平台、精密压入驱动单元、载荷信号检测和位移信号检测单元，其中，所述X、Y方向精密定位平台通过连接板Ⅱ固定在底座上，载物台通过X、Y向压电叠堆与X、Y方向精密定位平台连接；Z方向精密线性定位平台装配在底座上；精密压入驱动单元的步进电机、导轨分别固定在底座上；载荷信号检测和位移信号检测单元固定在底座上。优点在于：体积小、结构紧凑、质量轻、刚性好、定位精度高。可以实现特征尺寸毫米级以上三维试件的力学性能测试，位移加载分辨率达到纳米级，加载力分辨率达到微牛级。

主权项

一种原位压/划痕测试装置，其特征在于：包括X、Y方向精密定位平台、Z方向精密线性定位平台、精密压入驱动单元、载荷信号检测和位移信号检测单元，其中，所述X、Y方向精密定位平台通过连接板Ⅱ（3）固定在底座（13）上，载物台（5）通过X、Y向压电叠堆（17）、（14）与X、Y方向精密定位平台连接；Z方向精密线性定位平台由Z向压电叠堆（12）和Z向柔性铰链（9）构成并装配在底座（13）上；精密压入驱动单元由步进电机（1）、连接板Ⅰ（2）及导轨（16）组成，所述步进电机（1）、导轨（16）分别固定在底座（13）上；载荷信号检测和位移信号检测单元的八片电阻应变片分别固定在Z向柔性铰链（9）上，所述载荷信号检测和位移信号检测单元通过Z向柔性铰链（9）固定在底座（13）上。